ZM01 VOC傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱 板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物 半導體材料。當傳感器處存在敏感氣體環境中時,傳感器的電導率 隨空氣中被檢測氣體的濃度而發生改變。 該氣體的濃度越高,傳 感器的電導率就越高。該傳感器靈敏度高,小巧精密,采用I2C數字信號輸出方式,便于多個傳感器組網觀測,同時預置一個引腳作為報警觸發信號輸出,可廣泛應用于環境安全,便攜儀器等諸多領域。
傳感器特點
MEMS工藝、 穩定可靠、 超低功耗、 高靈敏度、 抗電磁干擾
主要應用
環境監測、便攜儀器、醫療衛生、現場控制
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